ビューポートへの膜付着を回避します！
特注品用真空コンポーネンツに関するお問い合わせは
Tel：０２９−２４０−６００５
目次
ビューポートシャッターとは
各種蒸着装置において、成膜中にチャンバー内部を観察するためのガラス製ビューポートを取付けますが、成膜中にそのビューポートの内側には蒸着物が徐々に付着して内部が見えなくなってしまいます。ビューポートとチャンバーフランジ間に回転式のシャッターを設置し、ビューポートへの蒸着物の付着を防止することが出来るシャッターです。
取付フランジはＩＣＦフランジ仕様と成っており、各種超高真空装置に使用可能です。
共通仕様
- フランジ ‥‥‥ICF70～203対応・両面エッジ・キリ穴
- 材質 ‥‥‥SUS304(回転導入機を除く)
- 最高使用温度‥‥‥200℃
- リーク量 ‥‥‥1.3ｘ10-11Ｐａ・㎥/sec
- 開閉式 ‥‥‥バタフライ式
- 開閉位置固定ストッパー付
| 型式 | VPSU-70 | VPSU-114 | VPSU-152 | VPSU-203 |
| 取付フランジ | ICF70 | ICF114 | ICF152 | ICF203 |
| B | ３５ | ５３ | ９６ | １４２ |
| C | ２０ | ２０ | ２０ | ２２ |
| E | ２０ | ４２ | ７３ | １１２ |
| L | １５９ | １７９ | １９９ | ２１９ |
| 重量（ｋｇ） | ０．８ | １．８ | ２．１ | ３．１ |
特注品用 真空コンポーネンツに関するお問い合わせ
- お問い合わせいただいた内容は、入力いただいたメールアドレスに自動で確認メールが配信されます。確認メールが届いていない場合は、メールアドレスの入力間違いの可能性が考えられます。
- １週間以上お返事のない場合、メールサーバーのエラーなど、予期せぬ不具合が生じている可能性がございます。大変お手数をおかけいたしますが、再度お問い合わせいただくか、直接お電話くださいますようお願いいたします。
- 営業的な内容のお問い合わせには返答いたしかねます。