基板交換ハッチ　VPHシリーズ

工具を使用することなく真空フランジの開閉が可能になります！

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基板交換ハッチとは

チャンバーを大気開放して基板交換を行う際に、フランジを外す手間を軽減します。開口径の異なるサイズで４種類ランナップしております。
取付フランジはＩＣＦフランジ仕様と成っており、各種高真空装置に使用可能です。

共通仕様

1. 取付フランジ‥‥‥ICF114～253
2. 許容加熱温度‥‥‥最大150℃
3. リーク量　　‥‥‥1.3ｘ10-8Ｐａ・㎥/sec
4. 窓材質　　　‥‥‥テンパックス（耐熱ガラス）
5. Oリング材質‥‥‥バイトン

型式	VPH-114	VPH-152	VPH-203	VPH-253
D1：フランジ	ICF114	ICF152	ICF203	ICF253
D2：窓有効径	Φ５１	Φ９４	Φ１４０	Φ１６０
タイプ	A	A	A	B
重量（ｋｇ）	３	３．９	５．７	１２．３

オプション
１）　窓材質を石英ガラスに変更可能です。
２）　取付フランジをICFからOリングへ変更可能です。

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