真空蒸着装置 VE-2040

１歩進んだ試料作りは清浄高真空から始ります。本装置はターボ分子ポンプ排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。

実験用途向けとしては比較的大きなチャンバーと、最大１５０Aの大電流を流せる電極を標準で搭載いたします。

ターボ分子ポンプは油回転ポンプから逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。
本装置は清浄高真空蒸着装置ですので、半導体関連の試料作成をはじめ、生物系や有機、無機系など、幅広く、研究の手段として、利用戴けます。

この装置は、ベース設計に様々なカスタマイズを行って仕上げていく装置です。お客様との詳細な仕様打ち合わせを必要とし、受注生産品となっております。
商品は、装置本体にターボポンプとロータリーポンプが内蔵された、据え置き型真空蒸着装置です。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。