真空蒸着装置 VE-2013

装置概要

VE-2013 は VE-2030（弊社製）のコンセプトを継承した簡易型真空蒸着装置です。TMP を筐体内に内蔵したデスクトップ型なので設置場所を取りません。RP は床置き。

小型 TMP＋RP の排気系により清浄高真空の蒸着装置を低価格で提供。複雑な排気操作を廃し、タッチパネルスイッチのＯＮ／ＯＦＦのみの全自動制御です。

タングステンバスケットの使用で金・アルミニウム・クロム・銀などの蒸着が出来ます。カーボン蒸着は専用カーボン（SLC-30）を使用して蒸着するクランプ蒸着銃タイプを使用いたします。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、真空ホースがセットになっております。電極がひとつ、付属いたします。最初に蒸着電極をご選択ください
（金属蒸着又はカーボン蒸着）。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。

カタログPDF

ご購入の際に、カーボン蒸着電極、又は金属蒸着電極を選択致します。オプションにより、追加で両方の電極の購入も可能です。

SLC-30形カーボン専用蒸着電極です。
高真空領域でのカーボン蒸着を可能とし、膜質、膜強度に優れたカーボン成膜が可能です。
付属の汚れ防止カバーにより、カーボン蒸着の飛散範囲を必要最低限に抑え、クリーニングの負担を軽減しております。
カーボン蒸着源には、専用カーボン（SLC-30）を使用致します。

Φ0.5mmタングステンバスケット専用の、金属蒸着電極です。
金、アルミ、クロムなどの蒸着を、手軽に簡単に行うことが可能です。付属の汚れ防止カバーにより、蒸着範囲を最小限に抑え、クリーニングの負担も軽減しております。

VE-2013　装置の仕様

VE-2013　消耗品・部品リスト

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

専用カーボン
SLC-30
１ケース（１００本入り）

専用カーボン
SLC-30
お得な１０ケースセット

各種金属蒸着材料につきましては、直接材料メーカーから購入をお願いいたします。

※VE-2013で使用するカーボンは、専用の替え芯型カーボンSLC-30をお買い求めください。カーボンロッドの突き合わせ蒸着は本装置では出来ませんのでご注意ください。
※金属蒸着に利用するタングステンバスケットはΦ0.5mmの４回巻き又は７回巻きです。以下の「日新EM」または「応研商事」のWEBサイトよりお買い求めください。

【金属材料メーカー（購入先）】
株式会社ニラコ

VE-2013　オプション

	ＣＥ－１２形　クランプ電極 この部品は、Φ０．５ｍｍ専用カーボンを取り付けてカーボン蒸着を行うユニットです。 従来のカーボンロッド蒸着に比べて手間がかからず、非常に簡単に再現性良くカーボン成膜が可能です。汚れ防止キャップ付きで、蒸着範囲を限定し、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
	ＨＥ－１２形　金属蒸着電極 タングステンバスケットを装着し、金属の蒸着を行うユニットです。 金、銀、アルミ、クロムなどの金属蒸着が可能です。 汚れ防止キャップ付きなので、蒸着範囲が限定され、クリーニングの手間を軽減することが可能です。
	電極の二極化 標準では１対の電極を備えておりますが、電極を二極化することで、一度の蒸着量を増やしたり、同工程内で二種類の金属蒸着を行うことが出来るようになります。
	ＣＥ－２２形　二源クランプ電極 電極の二極化が必要です。 １回の蒸着工程で２倍量のカーボン蒸着が可能となります。
	ＨＥ－２２形　二源金属蒸着電極 電極の二極化が必要です。 異なる金属の蒸着に対応可能です。
	基板ホルダー 蒸着を、下から上方に向けて行う際に、試料を固定するためのホルダーです。 異物の落下・付着を最小限にする試料ホルダーです。 取付穴位置はご希望により変更可能です。 加熱用電極柱に絶縁対策を施します。
	傾斜回転機構 蒸着物の回り込み性をサポートする傾斜回転試料台です。
	サービスポート用チャンバー 様々な用途で装置内部へアプローチするポートを備えたステンレス製のチャンバーを増設可能です。 膜厚計、温調用センサー、傾斜回転試料台の増設などに対応します。
	VE-2012、VE-2013専用防爆カバー ガラスベルジャーユニット一体型の防爆カバーです。 材質：アクリル

その他改造等につきましてはお問い合わせください。

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