目次
装置概要
この装置はTEM、SEM、X線分析等のカーボン膜作成装置です。樹脂包埋試料のチャージアップ防止等に使用します。300WはXMAやFIB試料の保護膜など、特に厚いカーボン膜作成に利用します。
ロータリーポンプを使用し、ピラニーゲージで真空度を監視しながらカーボン蒸着を行います。常に一定量のカーボンを蒸発させることにより再現性の高いカーボン蒸着が可能です。
カーボン源は専用替え芯SLC-30をご使用下さい。
300Sの電極は一対、300Wの電極は2対あります。300Wはスイッチ切り換えで、2倍の厚さのコーティングが可能です。
ロータリーポンプ(RP)は外付け床置き形です。RPの振動に共鳴しないように、強固な作業台に設置して下さい。水冷は不要です。
商品は、装置本体、ロータリーポンプ、SUS製フレキシブルホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。
VC-300 装置の仕様
項目 | 仕様 |
---|---|
電源 | AC100V(単相100V15A) |
装置サイズ | W255mmxD375mmxH430mm 重量18kg |
ロータリーポンプ | 排気速度50ℓ/min(GLD-051) 重量14.6kg |
試料室サイズ | 内径120mmx高さ140mm |
試料ステージサイズ | Φ100mm |
蒸着源-試料台間隔 | 45mm~75mmの範囲で調整可能 |
搭載可能試料サイズ | Φ98mm、最大試料高さ40mm |
蒸着電源 | OUTGAS、EVAPO. 各固定電圧2段階切換、最適電圧にプリセット |
カーボン源 | 専用替え芯型カーボン SLC-30 |
VC-300 消耗品・部品リスト
消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。
専用カーボン
SLC-30
1ケース(100本入り)
専用カーボン
SLC-30
お得な10ケースセット
VC300用ガラス筒パッキン(2本1組)
VC300用ガラスチャンバー
クランプばねや汚れ防止板等の部品も、劣化や破損があった際は単品での制作も可能です。
その他メンテナンス・修理に関するお問い合わせはサービスお問い合わせよりご連絡ください。
カーボンコーターと高真空蒸着装置の違い
カーボンコーターは主に、ロータリーポンプ排気のみの装置か、ターボポンプを搭載した高真空蒸着装置に分けられます。高真空蒸着装置との性質の違いを理解することは、装置選定の際に役に立ちます。
ロータリーポンプ排気蒸着装置 VC-300S/W、VES-10 | 高真空排気蒸着装置 VE-2013、VE-2050など | |
真空排気系 | ロータリーポンプ | ロータリーポンプ+ターボ分子ポンプ |
成膜真空度 | 1~2(Pa) | 5×10 -3(Pa)以下 |
粒状性 | 粒子は細かいが膜としては粗い | 粒子もきめ細かく膜質も綺麗である |
膜質 | 残留分子とぶつかり合いながら降り積もるため、膜質は粗くて脆い | 残留分子が無く、直線的に粒子が飛び付着するため、膜質も綺麗で強い |
回り込み性 | 残留分子とぶつかり合いながら多方向へ飛散するため、ある程度回り込み性がある | 直線的に粒子は飛んで付着する、影になった部分には成膜されない |
カーボン蒸着の利用目的 | 切片や支持膜の補強、元素分析、高倍率SEM観察、FIB保護膜など。 | 切片や支持膜の補強、元素分析、高倍率SEM観察、FIB保護膜、カーボン支持膜の作成、シャドウイング法、など。 |
※カーボンコーターは利用目的を絞った仕様であり、用途は限られますが、装置価格を抑えることができます。
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