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真空デバイス製品ラインナップ一覧
※ 各装置の詳細およびカタログは、写真または形式名ををクリックしてください。
スパッタ装置
スパッタ装置は真空中でターゲットとなる金属にイオンエネルギーを衝突させ、金属粒子を飛び出させ、試料に堆積、成膜するための装置です。DCマグネトロンスパッタ装置とRFスパッタ装置をラインナップしております。
MSP-mini
小型低価格モデル。光学顕微鏡、卓上型電子顕微鏡の前処理に活躍します。
MSP-1S
スタンダードタイプ小型導電成膜装置。貴金属スパッタに特化したモデルです。
MSP-40T
ハイエンド実験用途向けスパッタ装置です。金属材料成膜を全自動で行います。
MSP20-UM
貴金属専用のミドルモデルです。細かな条件出しとＡｒガスの導入が可能です。
MSP-8in
８インチ（Φ２００ｍｍ）ウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載したスパッタ装置です。
VRF-100S
RF電源を搭載した高周波スパッタ装置です。酸化膜、絶縁膜の成膜、多層膜の作成(5源)が可能です。
オスミウムコーターと真空電子染色装置
オスミウムコーターは回り込み性に優れ、アモルファスで導電性の高い成膜を行うことが可能です。ＦＥ－ＳＥＭの前処理など、高倍率観察に欠かせない装置です。
電子染色装置は、高分子材料の内部構造を観察する際に活躍いたします。
HPC-20
高機能フルオートオスミウムコーティング装置です。様々な安全対策を充実させておりますのでドラフトレスでの運用が可能です。
ES-200(仮)
軽元素で構成される試料にOs、Ruによる電子散乱性を付与して構造を可視化するための装置です。
カーボンコーター・マルチ成膜装置
カーボンコーターはエックス線分析用のカーボン膜を簡単に行うことができる装置です。
専用替え芯形カーボン（SLC-30）を採用し、再現性良くカーボン蒸着が可能となります。
VC-300
替え芯形カーボン専用。真空蒸着装置に代わる簡易カーボンコーターです。
VES-10
親水処理・カーボンコーター・イオンスパッタの機能を一体化した小型複合装置です。
高真空蒸着装置
高真空領域で様々な材料を飛ばして成膜を行う装置です。
卓上型高真空蒸着装置VE-2013は驚異的な排気スピードで研究のスピードを飛躍的に向上させます。
VE-2050
８０A出力に対応した、実験用途向け蒸着装置のスタンダードモデルです。
VE-2040
大面積、１５０A大電流対応の据え置き型高真空蒸着装置です。
SEM・TEM試料保管装置
SEM観察試料およびTEMホルダーを高真空下に保存するための装置です。
高真空下で保管することによりコンタミネーションの発生を大幅に抑えることが可能になります。
TVS-40T
４本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。
SVS-100
多くのSEMサンプルを格納することが可能な試料保管装置です。
プラズマ処理装置
プラズマの効果により、サンプルに親水性を持たせたり油脂汚れのクリーニングなどを行う装置です。
PIB-20は親水化処理、クリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付など、様々な用途に対応可能な高性能装置です。
PIB-10
グリッドメッシュや支持膜の親水処理に特化したスタンダードモデルです。
PIB-20
親水処理、クリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付などに対応した高性能装置です。
凍結乾燥装置・急速凍結装置
凍結乾燥装置は含水試料の乾燥工程で活用される装置です。高圧ガスを使用しないため、安全に簡単に処理を行うことが可能です。VFD-30形は乾燥工程を全自動化した高性能モデルです。
VFD-21S
ロータリーポンプ内蔵型の凍結乾燥装置です。操作はマニュアルで行います。
VFD-30
高精細処理モードを搭載した上位モデルです。乾燥工程を全自動で行います。
VFZ-101
凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に。
