TEMホルダー保管装置 TVS-40T

本装置はＴＥＭホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。ＴＥＭホルダー接続ポートはお客様のお使いのＴＥＭホルダーに合わせてカスタマイズいたします。

ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付きです。

タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。

商品は、装置本体、ダイヤフラムポンプがセットになっております。
事前のホルダー打ち合わせと、現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。