MENU
サイトリニューアルいたしました。未完部分もありますが順次作業中です!

マグネトロンスパッタ装置 MSP-20UM

目次

装置概要

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。

SEM観察試料の導電処理。FIB用保護膜の作成。元素分析用導電処理。その他、電極作成や酸化防止膜の作成等幅広い目的に使用できます。

様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。

設定条件に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。バイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実し、別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、ターゲット金属1枚(種類を指定してください)、SUS製フレキシブル真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。


MSP-20UM 装置の仕様

項目仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
アース線付き3芯プラグ使用
装置サイズ 幅350mmx奥行き420mmx高さ347mm
(装置重量18Kg)
ロータリーポンプ 排気速度50ℓ/min(GLD-051)
重量14.6kg
試料室サイズ内径149mmx高さ82mm(硬質ガラス)
電極―試料ステージ間隔40mm
試料ステージサイズΦ50mm(フローティング方式)
※オプション傾斜回転使用時
傾斜角度:0~45° 回転速度:60rpm
搭載可能試料サイズ標準:≦Φ50mm、高さ≦20mm
※オプション傾斜回転使用時
傾斜時:≦Φ20mm、高さ≦20mm
スパッタターゲット金属仕様Φ51mm、厚さ0.1mm(Agのみ0.5mm)
Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd、Pd、Ag
雰囲気ガスAir(空気)又はAr(アルゴン)

MSP-20UM 消耗品・部品リスト

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

MSP-20UM用
Auターゲット
【t=0.1mm】

MSP-20UM用
Ptターゲット
【t=0.1mm】

MSP-20UM用
Au-Pdターゲット
【t=0.1mm】
Au60%:Pd40%

MSP-20UM用
Pt-Pdターゲット
【t=0.1mm】
Pt80%:Pd20%

MSP-20UM用
Agターゲット
【t=0.5mm】

MSP-20UM用
Pdターゲット
【t=0.1mm】

MSP-20用ガラス筒パッキン(2本1組)

MSP-20用ガラスチャンバー

その他メンテナンス・修理に関するお問い合わせはサービスお問い合わせよりご連絡ください。

MSP-20UM オプション

傾斜回転試料台
この機構は、MSP-20UM形マグネトロンスパッター専用の傾斜・回転ステージです。回り込み性能を向上させ、チャージアップを軽減する効果が得られます。傾斜角度を決めてモーターで連続回転する事が可能となります。こちらのオプションは本体ご注文時にご指定下さい。
試料ステージ 直径50mm、 傾斜角0~45°回転速度60rpm
電極円盤-試料ステージ間隔 38mm
最大試料サイズ φ50mm(水平処理時) φ20mm(45°傾斜・回転時)
最大試料高さ 25mm
※傾斜回転試料台をご利用の際は、アルゴンガスが必須となります。

MSP-20UM ユーティリティについて

本装置はArガスの導入が可能です。雰囲気ガスにアルゴンを利用することにより、膜質の向上や安定性の向上が見込まれます。オプションの傾斜回転試料台、そのほか改造を施す場合はアルゴンガスが必須です。

スパッタ金属粒子の比較

Au:金
観察領域:数千~1万倍
Au-Pd:金パラジウム
観察領域:1万~5万倍
低倍率観察に最適でコントラストが良い。

Pt:白金
観察領域:1万~5万倍
Pt-Pd:白金パラジウム
観察領域:3万~5万倍
粒子径が細かく、高倍率で観察する際によく使われる。

本装置は卓上SEMや汎用SEM観察前の導電コーティングが主な目的となる装置です。

※高倍率観察のできるFE-SEMを利用される場合は、タングステンスパッタ装置(MSP-20TK)やオスミウムコーター(HPC-20)をご検討ください。

※電極作成などの膜質を優先される場合はアルゴンガスをご利用ください。

関連コンテンツ

お問い合わせ

    必須

    任意

    必須

    必須

    必須

    任意

    必須

    国家機関教育機関研究機関一般企業商社個人

    任意

    必須

    装置の購入・お見積り・価格に関するお問い合わせ付属品・消耗品に関するお問い合わせ装置の不具合、サービス対応、修理のご相談についてテスト成膜、受託成膜、技術指導に関するお問い合わせWEBコンテンツに関するお問い合わせ装置の改造、特注品制作、真空コンポーネントに関するお問い合わせその他お問い合わせ

    必須

    必須

    お願い

    インターネット検索販売店様からのご紹介お客様からのお問い合わせ総合カタログ・カタログ学会・展示会以前から弊社を知っているその他

    お願い

    目次