マグネトロンスパッタ装置 MSP-20UM

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。

ＳＥＭ観察試料の導電処理。ＦＩＢ用保護膜の作成。元素分析用導電処理。その他、電極作成や酸化防止膜の作成等幅広い目的に使用できます。

様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。

設定条件に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。バイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実し、別途オプションで回り込み性能を向上させる傾斜回転機構をご用意しております。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、ターゲット金属１枚（種類を指定してください）、SUS製フレキシブル真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。