マグネトロンスパッタ装置 MSP-20TK

この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。
ターゲット材料はタングステンをメインとし、電子顕微鏡の高倍率観察目的の際に活用されます。また、その他にもコーティング可能な金属が多数ございます。

電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、SUS製フレキシブル真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。