マグネトロンスパッタ装置 MSP-20TK

この装置は電子顕微鏡試料などに金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。
ターゲット材料はタングステンをメインとし、電子顕微鏡の高倍率観察目的の際に活用されます。また、その他にもコーティング可能な金属が多数ございます。

電極は空冷マグネトロン方式を採用し、低電圧で特殊金属のコーティングを可能にします。（気体に含まれる電子がマグネトロン運動をし、イオン化効率を大幅に向上させるため。）試料ダメージを大幅に減少させることに貢献しています。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、SUS製フレキシブル真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。

項目	仕様
電源	ＡＣ１００V（単相１００V１５A）１口アース線付き３芯プラグ使用
装置サイズ	幅３５４、奥行き３６８ｍｍ、高さ４３０ｍｍ（装置重量２２Ｋｇ）
ロータリーポンプ	排気速度５０ℓ／ｍｉｎ（ＧＬＤ－０５１）重量１４．６ｋｇ
試料室サイズ	内径１４９ｍｍ、深さ１２６ｍｍ（硬質ガラス）
電極―試料ステージ間隔	５０ｍｍ～７０ｍｍ
試料ステージサイズ	Φ４７ｍｍ　フローティング方式
搭載可能試料サイズ	Φ４５ｍｍ、高さ３０ｍｍ以下
スパッタターゲット金属仕様	Ｗ（標準）、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｔａ、Ｔｉ等貴金属ターゲット（磁場キャンセルＮｉプレート使用）Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ｐｄ、Ａｇ

本装置はアルゴンガスが必須となります。設備については事前にご確認をお願いいたします。

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

MSP-20TK用
Wターゲット
【t=1.0mm】

そのほかのターゲット金属についてはお問い合わせください。

MSP-20用ガラス筒パッキン（２本１組）

MSP-20TK用ガラスチャンバー

その他メンテナンス・修理に関するお問い合わせはサービスお問い合わせよりご連絡ください。

W：タングステン
観察領域：１万～１０万倍以上
オスミウムに匹敵する粒子の細かさです。オスミウムの導入が困難な場合の選択肢として検討できます。

Ｐｔ：白金
観察領域：１万～５万倍
タングステンと比較すると粒子は大きくなります。

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