マグネトロンスパッタ装置 MSP-20MT

この装置は電子顕微鏡試料などに貴金属薄膜をコーティングし、導電処理を施すための装置です。MSP-20UMではカバーできない面積に対して対応できるように、4インチサイズのターゲット搭載モデルをリリースしました。

ＳＥＭ観察試料の導電処理。ＦＩＢ用保護膜の作成。元素分析用導電処理。その他、電極作成や酸化防止膜の作成等幅広い目的に使用できます。

様々な用途に対応出来るよう、雰囲気ガスの導入機構、ガス雰囲気圧力調整機能、電流調整機能を備えています。

設定条件に従って一連のコーティング操作を自動で行うことが出来ます。バイパス排気システムや誤操作防止のインターロックが充実しております。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、ターゲット金属１枚（種類を指定してください）、SUS製フレキシブル真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。