概要装置
この装置はSEM観察用貴金属薄膜コーティング専用装置です。SEM試料のチャージアップを防止し、二次電子の発生効率を向上させるための貴金属コーティングを行う装置です。
マグネトロンターゲット電極による低電圧放電に加えて、試料台をフローティング方式にすることにより、電子線流入による試料損傷を軽減しております。操作は簡単、ボタンを押すだけ、誰でも簡単に操作可能です。ポンプ内蔵型のため小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。
商品は、装置本体、ターゲット金属１枚（種類を指定してください）がセットになっております。
簡易的な装置のため、据付取扱説明は含まれません。
MSP-1S 装置の仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 電源 | ＡＣ１００V（単相１００V１０A）アース付き３Pプラグ １口 |
| 装置サイズ | 幅２００mmｘ奥行き３５０ｍｍｘ高さ３４５ｍｍ （装置重量：１４．６Ｋｇ） |
| ロータリーポンプ | １０Ｌ／ｍｉｎ（装置に内蔵） |
| 試料室サイズ | 内径１２０ｍｍｘ高さ６５ｍｍ（硬質ガラス） |
| 試料ステージサイズ | 直径５０ｍｍ（フローティング方式） |
| 電極－試料台間隔 | ３５ｍｍ（補助試料台使用時２５ｍｍ） |
| ターゲット | Φ５１ｍｍ、厚さ０．１ｍｍ Ｐｔ、Ｐｔ－Ｐｄ、Ａｕ、Ａｕ－Ｐｄ、Ａｇ（ｔ0.5mm） |
MSP-1S 消耗品・部品リスト
消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。
MSP-1S用
Auターゲット
【t=0.1mm】
MSP-1S用
Ptターゲット
【t=0.1mm】
MSP-1S用
Au-Pdターゲット
【t=0.1mm】
Au60%：Pd40%
MSP-20UM用
Pt-Pdターゲット
【t=0.1mm】
Pt80％：Pd20%
MSP-1S用
Agターゲット
【t=0.5mm】
MSP-1S用ガラス筒パッキン（２本１組）
MSP-1S用ガラスチャンバー
その他メンテナンス・修理に関するお問い合わせはサービスお問い合わせよりご連絡ください。
スパッタ金属粒子の比較
Ａｕ：金
観察領域：数千～１万倍
Ａｕ－Ｐｄ：金パラジウム
観察領域：１万～５万倍
低倍率観察に最適でコントラストが良い。
Ｐｔ：白金
観察領域：１万～５万倍
Ｐｔ－Ｐｄ：白金パラジウム
観察領域：３万～５万倍
粒子径が細かく、高倍率で観察する際によく使われる。
本装置は卓上ＳＥＭや汎用ＳＥＭ観察前の導電コーティングが主な目的となる装置です。
※高倍率観察のできるFE-SEMを利用される場合は、タングステンスパッタ装置（MSP-20TK）やオスミウムコーター（HPC-20）をご検討ください。
※電極作成などの膜質を優先される場合はアルゴン雰囲気でスパッタのできるMSP-20シリーズよりご検討ください。
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