マグネトロンスパッタ装置 MSP-12in

装置概要

※製品画像は一例です。受注生産品のため仕様が変更される場合があります。

１２インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。

オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。
試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。

商品は、受注生産品となります。

全面コーティング仕様のMSP-12in、部分的コーティング仕様のMSP-12sをご用意しております。
据付取扱説明の必要がある装置です。

ターゲットの大きさが直径１２インチ（直径３００ｍｍ）あり、１２インチウェハー全域をムラなくコーティングします。大面積へのコーティング、大量のサンプルコーティングに活躍致します。

ターゲット電極の大きさは直径５１ｍｍ。可動式ターゲットにより、１２インチウェハーのような大面積サンプルの一部分をコーティングしたい場合に活躍致します。電極を小型化することによりランニングコストを抑えられます。また、大きなウェハーを割る必要もありません。

項目	仕様
電源	ＡＣ１００Ｖ（単相１００Ｖ）１５Ａアース線付き３芯プラグ
装置サイズ	幅４５０ｍｍ、奥行き４４０ｍｍ、高さ４２７ｍｍ（装置重量３０ｋｇ）
ロータリーポンプ	幅２３４ｍｍ、奥行き５００ｍｍ、高さ２６４ｍｍＧ－１０１Ｄ　（重量　２５ｋｇ）
試料室サイズ	内径３３０ｍｍ、高さ８０ｍｍ
試料ステージサイズ	直径３００ｍｍ
最大試料サイズ（ウェハ）	直径３００ｍｍ
ターゲット（貴金属）	MSP-12in：直径３００ｍｍ MSP-12s ：直径５１ｍｍＰｔ、Ａｕ、Ａｇ　その他種類につきましてはご相談ください。

本装置は大容量大面積装置のため、アルゴンガスの利用が必須となります。

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