アルゴンガスの導入について
真空デバイスの装置では、雰囲気ガスとしてアルゴンガスの導入が必要なもの、推奨のものがございます。ガス導入設備においてはお客様準備品となっておりますので、以下をご参考にご準備いただけますと幸いです。
装置とガス設備の接続図例
ガス設備、減圧弁、配管用のチューブはお客様の準備品となっております。
配管用のチューブと減圧弁を弊社でご用意することも可能ですが、ガス設備との接続規格の相違などエラーの要因があります。そのため、出来るだけお客様側にて設備の御準備をお願いいたします。
配管用のチューブについて
装置のＡｒガス導入口は全ての機種において１／４インチサイズの継手になっております。
ガス配管用のチューブの材質は、SUSまたはナイロンチューブを推奨しております。
また、ガス設備から装置までの配管長は３ｍ程度を目安に設定してください。
ニッタ株式会社 N2チューブ
https://www.nitta.co.jp/product/moore/tube/nylon/nylon_detailspace/N2/
品番：Ｎ２－１－４／１ 外径６．３５ｍｍ 内径４．５７ｍｍ 色：黒
アルゴン純度に関する案内
アルゴンガスには純度に応じたグレードがございます。
純度
G3（＞99.999vol%）
G2（＞99.9995vol%）
G1（＞99.9999vol%）
装置に利用されるアルゴンガスの純度は、基本的に一般工業用G3グレード程度であれば利用可能です。
減圧弁に関する案内
装置に導入される際のアルゴンガス圧はおよそ０．０５ＭＰａとなっております。
設備側からの減圧弁は、０．０５ＭＰａが制御できるものをご準備ください。
減圧弁の型式例を以下に示します。
メーカー：ＹＵＴＡＫＡ
圧力調整器、ＦＲーⅡＳーＯＰタイプ
低圧側圧力計：０．１ＭＰａ
入口継手：Ｗ２２右フクロナット（※ボンベ の規格により左もある）
出口継手：１／４インチスウェージロックタイプ
ガス種：アルゴン
以上を記 載の上、手配をしていただくのが最もスムーズです。
https://www.yutaka-crown.com/products/general-industry/512/
配管接続に関するご注意
・ガス設備が装置設置場所から遠く、配管の長さが１０ｍ以上ある場合
配管内のガス置換に時間を要します。装置の配置を変更するか、ガスボンベを近くに置けるようご検討ください。
・他の分析機器等の装置と配管を分岐して利用する場合
あらかじめ、分岐用のチーズ継手や１／４インチチューブのご用意をお願いします。現地で弊社のサービスマンが分岐のための施工を行う際は他の機器に及ぼす影響については一切の責任は負えません。
・準備不足等で現地での配管が出来ず、後日改めて据付作業になってしまった場合
別途出張費用が生じます。何卒ご理解ご協力のほどお願いいたします。
接続手順の一例
- ガス供給元のバルブをＣＬＯＳＥにしてください。
- 減圧弁出口はＯＰＥＮとし、圧力調整弁も開放状態にしてください。
- 装置の真空排気操作を行い、ガスバルブをＯＰＥＮにして減圧弁内およびガス配管内の空気を真空排気してください。
この際、装置側のガス圧調整用ニードルバルブはＯＰＥＮにしてください。
ターボポンプを搭載している装置については、ターボに負荷をかけないよう考慮頂き、ニードルバルブはＣＬＯＳＥ状態から徐々に開放してください。 - 十分に配管内の空気が排出されましたら、装置ニードルバルブをＣＬＯＳＥし、減圧弁の調整弁もＣＬＯＳＥにしてください。
- ガス供給元のバルブをＯＰＥＮにしてください。
- 流路を確保するため装置ニードルバルブを反時計回りに２回転開放してください。
- 減圧弁のゲージを確認しながら圧力調整弁を０．０５ＭＰａを示すように調整して下さい。
- 装置ニードルバルブを調整し、目的の雰囲気圧力に調整してください。
配管が非常に長い場合の接続手順の一例
- 装置の真空排気を行い、ガスバルブをＯＰＥＮにしてください。
- ガス供給元のバルブをＯＰＥＮにし、減圧弁で０．０５ＭＰａを調整してください。
チューブの先端からは僅かな風を感じる程度で配管内の空気が押し出されてまいります。
配管が非常に長い場合は少し強めに残留ガスを押し流してください。 - 十分に配管内の空気が押し出されたと判断されましたら０．０５ＭＰａを確認の上、装置の接続口に近づけてください。
- 装置の内部配管内の空気を押し流すように、少しアルゴンガスを流したのち、装置と配管を接続してください。
- ニードルバルブを少し多めに開放し、配管内の残留空気を排気してください。
ターボポンプ搭載装置の場合は負荷を与えないように考慮してください。 - 装置ニードルバルブを調整し、目的の雰囲気圧力に調整してください。
