プラズマ処理装置 PIB-20

装置概要

この装置は親水処理や有機素材の選択的エッチングなどに使用する装置です。主に電子顕微鏡試料の支持膜親水化、PDMS の貼り付け、油脂・有機材料などのエッチング（クリーニング）に使用されます。

雰囲気ガスの導入、圧力調整機能、電圧調整を装備しています。ガス種やガス導入量の調整であらゆる分野の研究に役立ちます。

試料台は大型サンプルをそのまま処理可能な大面積フラットステージを採用。電界のムラやコンタミネーションの付着を防止します。

マニュアル操作も右からボタンを順に押すだけのオペレーターに易しいレイアウト。調整・条件出し完了後は、中央のオートスイッチを押すだけで自動運転も可能です。

排気速度と放電条件のバランスを重視して、２系統の排気管を自動制御。イオンダメージに弱いサンプル・熱ダメージに弱いサンプルを親水処理するため、試料台はフローティング方式を採用。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、真空ホースがセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。