真空デバイスのオスミウムコーター【ＨＰＣ－２０】は、シーケンサーとタッチパネル制御によるフルオートオスミウム成膜装置です。お客様の「声」を装置に反映できるのは、実際に開発に携わったスタッフが、納品据え付けを行い、アフターフォローまでをカバーしているからです。
制御プログラムは定期メンテナンスの際に最新版をインストールしてお戻しします。
プログラムバージョンアップ内容【Ver１０】
通常メンテナンスの指標として
オスミウムアンプル装填量のメモ機能が追加されました。オスミウムコーターは「車検」と同じように、定期的なメンテナンスが必要です。
メンテナンスの周期は、装置全体のメンテナンスが約２年毎、それ以外のメンテナンスはオスミウムアンプルの消費量によって定めております。
そのため、どのくらいアンプルを消費しているか記録を取っていくことが必要となってまいります。運用管理はお客様のもとで様々ですが、アンプルの使用量が装置側で記憶できれば運用の面でも安心につながります。
成膜プロセス完了時のお知らせ機能
ＨＰＣ－２０は、全自動でオスミウムコーティングが可能です。そのため、装置の前に留まる必要が無く別な作業を進めることが可能です。
通常のコーティングプロセスは大体６分～６分半程度ですが、ほかの作業を行っていると成膜の完了が気になることもございます。そこで、成膜プロセスの完了と共にブザーを鳴らし、オスミウムコーティングが完了したことをお知らせする機能を追加いたしました。
ＯＮ／ＯＦＦはもちろん切り替えが可能です。
プログラムバージョンアップ内容【Ver６】
外国人ユーザーフレンドリーを目指して
新たに英語表記が出来るようになりました。
外国人のお客様でも安心して装置を扱えるようになりました。
ボタン一つで簡単に成膜作業は出来ますが、装置の動きについて指導を行うとなるとそう簡単ではありません。
バイリンガル機能がきっと、現場のコミュニケーションの助けとなることと思い、新しく導入をいたしました。
今後は、中国語やドイツ語など、追加が出来るようにスペースを設けております。
プログラムバージョンアップ内容【Ver２】
立ち下げ機能の追加
真空装置の停止時はチャンバー内を真空状態にて保管することが推奨されますが、これまでは真空保持を行う場合、煩雑な手動操作を必要としておりました。
そこで、ボタンを押していただくと、適切な真空度（１０Pa）まで真空排気を行って、自動的にバルブがCLOSEし、チャンバー内を真空保持する機能が付加されました。
タッチ操作音の追加
リリース当初はタッチパネルの操作音はありませんでした。
しかし、操作をするうえで「押しているかどうか」を明確に認識したいという要望のほうが多く、操作音を追加いたしました。「ピッ」と押して操作完了！あとは装置が自動でオスミウムコーティングいたします。
シーケンス時間表示の追加
シーケンス進行状況に伴い、各項目の残り時間が右に表示される仕様です。
HPC-20は多くのお客様に愛され、ともに成長を遂げてきました。
今後も役に立つ機能が増えていくことを温かく見守っていただけましたら幸いです。
