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分子線セル（クヌーセンセル／Kセル）の解説
分子線セル（クヌーセンセル）とは 分子線セルとは、ルツボ内の原料をヒーターにて加熱することにより飽和蒸気圧の分子線を発生させ、基板に原子層を一層ずつ結晶成長可…
ICFフランジ組み込み型のクヌーセンセル加熱コンポーネンツです。るつぼ容量に応じた４タイプがございます。
るつぼ内の原料をヒーターで加熱することにより飽和蒸気圧の分子線を発生させ、基板に原料を結晶成長させます。超高真空（10-8Pa程度以下）に対応した抵抗加熱型の蒸着源です。
目次
外観
【コンポーネント外観】
【制御用電源（オプション）】
共通仕様
- 最高使用温度‥‥‥1300℃MAX.
- ルツボ材質 ‥‥‥アルミナ/PBN/Ta/その他
- ヒーター材質‥‥‥Taワイヤ
- 熱電対 ‥‥‥Cタイプ(W/WRe)
- ルツボ ‥‥‥オプション
- シャッター駆動機構‥‥‥オプション
- 加熱制御電源‥‥‥オプション
ラインナップ仕様
| 型式 | KNC-002 | KNC-005 | KNC-010 | KNC-025 |
| るつぼ容量 | 2cc | 5cc | 10cc | 25cc |
| 取付フランジ | ICF70 | |||
| D1 | φ32 | φ35 | φ32 | φ35 |
| D2 | φ23.5 | φ25 | φ32.5 | φ36.5 |
| Ｌ | 150～任意 | 200～任意 | 250～任意 | 250～任意 |
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