イオン銃　SIGシリーズ

試料表面の汚染物質や酸化膜の除去を目的とします！

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イオン銃とは

　真空中でイオン銃内部のフィラメントに電流を流して熱電子を発生させ、ガスを導入してアーク放電を発生させるとガス分子は熱電子と衝突して電離しイオン化を行います。加速電極に電圧をかけることにより、電気的に中性なプラズマにプラス電位を持たせると電極に空いた穴からイオンが飛び出します。イオン銃とは、そのイオンを基板に照射するためのコンポーネントです。

SIG-030形イオン銃の概要

　本イオン銃は、電子衝撃型イオン銃で試料表面の汚染物や酸化膜の除去などのクリーニング等に使用します。導入するArガスは、マスフローコントローラー又はバリアブルリークバルブでガス流量を調整し、イオン化室に導入され、フィラメントの熱電子によりイオン化されます。
　イオンは、加速電圧(MAX.3KV)で引き出され、先端のレンズ(MAX.-3KV)で収束されて基板に到達します。イオンの照射エネルギーは、加速電圧(MAX.3KV)で、イオンの照射面積は、レンズ電圧(MAX.-3KV)により可変できます。
　本イオン銃は、ベーキング可能な超高真空タイプです。

外観

SIG-030形イオン銃仕様

※ご注文の際にはＬ寸法を指定いただけます。

1. 取付けフランジ‥‥‥ICF70キリ穴フランジ
2. フィラメント電流‥‥‥０～５A
3. 加速電圧‥‥‥０～３ｋV
4. レンズ電圧‥‥０～-３ｋV
5. エミッション電流‥‥‥０～１５０ｍA
6. イオン電流‥‥‥９０μA（加速電圧３ｋV）
7. ビーム径‥‥‥Φ１５ｍｍ
8. ベーキング温度‥‥‥MAX.２５０℃

SIG-030SH形イオン銃オプション

SIG-030型イオン銃本体にイオン電流を測定できるシャッター機構を装備しています。
SIG-030SH型は、取付けフランジがICF114フランジとなります。

制御用電源　IGP-030

イオン銃(SIG030,SIG030SH)用制御電源は、イオン加速電圧が最大+3KV、オートエミッション制御機能を装備した安定した電源です。

仕様

1. 加速電圧‥‥‥０～+３ｋV
2. フィラメント電流‥‥‥AC20V・5A（オートエミッション制御）
3. レンズ電圧‥‥０～-３ｋV
4. 出力ケーブル‥‥‥５ｍ
5. 入力電力‥‥‥AC100V／5A
6. インターロック機構‥‥‥標準装備
7. 寸法‥‥‥149(H)ｘ480(W)ｘ500(D)　JISラックマウント

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