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オスミウムコーター HPC-20

オスミウムコーターとは、四酸化オスミウム結晶から昇華されてくるオスミウムガスをチャンバー内に充満させ、プラズマによりオスミウムを電離し、試料にコーティングするための装置です。オスミウムプラズマコーターは回り込み性に優れ、アモルファスのため粒状性が無く非常に細かい粒子のため、FE-SEMをはじめとした電子顕微鏡観察において、高精細で高倍率な観察が可能となります。

目次

装置概要

この装置は電子顕微鏡観察用オスミウムコーティング装置です。タッチパネルとシーケンサー制御を搭載し、誰でも簡単に全自動で試料の導電成膜処理を行うことが可能です。

SEM、TEM用のオスミウムコーティング装置です。粒径が細かく回り込み性に優れているため、高倍率観察用途や、複雑形状の試料に効果的です。また、極薄膜のOs導電コーティングにより、EBSD分析、オージェ分析、X線分析にも応用されます。

ホローカソード試料台を採用し、低電圧放電でコーティングを行うため試料ダメージがほとんどありません。ホローカソード内は一様な高密度プラズマが発生するため、試料の高さに関係なく、円筒内に置かれた試料表面には一様な厚さのOs膜が形成されます。

オスミウムガスはホローカソード内に必要量だけ注入されますので消費量が少なく、未反応のガスは活性炭トラップで吸着除去し、大気中への有害ガス放出を抑えております。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、SUS製フレキシブルホース、高密度活性炭トラップ、和光純薬社製四酸化オスミウムアンプル(0.5g入り)がセットになっております。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。
また、この装置はオスミウムを扱うため定期的なメンテナンスを必要とします。詳細はお問い合わせください。


HPC-20 装置の仕様

項目仕様
電源 AC100V(単相100V15A)1口
アース線付3芯プラグ使用(3m)
装置サイズ 幅470mm、奥行400mm、高さ412mm
(重量25Kg)
ロータリーポンプ 幅120mm、長さ290mm、高さ250mm
排気速度30ℓ/min 特殊オイル専用ロータリーポンプ
(重量11Kg)
試料室サイズ内径120mm、高さ77mm(硬質ガラス)
電極アノード:Φ110mm
カソード:内径Φ108mm、深さ35mm
(弊社特許によるホローカソード方式)
試料ステージサイズΦ98mm、ホローカソード内にフローティング設置
搭載可能試料サイズΦ98mm、試料台を含めた高さ45mm
オスミウムアンプル規格太さ:Φ12.8mm以内
高さ:寸胴タイプ60mm以下、アンプルタイプ65mm以下
OsO4消費量(使用回数)1gアンプル1本あたり約100回以上(標準使用条件の場合)
(使用頻度、成膜時間によって使用回数が変動します)
二か国語表示機能日本語、英語表示切替機能搭載

HPC-20 消耗品とメンテナンス

キシダ化学社
四酸化オスミウムアンプル
(1g入り)

和光純薬社
四酸化オスミウムアンプル
(0.5g入り)

オスミウム廃液類の引取りサービス
回収単位:
1L、5L、20L

※廃液類のお引き受けは弊社ユーザー様に限ります。

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

※HPC-20では定期メンテナンスの際にバルブ、センサー、パッキン、RPオイル、活性炭フィルターの交換およびチャンバー内のクリーニング作業を実施いたします。

※お客様自身でのメンテナンスの際は、必要な部品を購入することも可能です。

※廃液類、廃棄物が生じるため、メンテナンスは基本的に弊社に装置を送っての作業としております。メンテナンス時の廃液類は無償で引き受けます。

※チャンバー部品のクリーニング作業を承ることも可能です。

※廃液類のお引き取りサービスにも対応いたしております。

HPC-20 オプション

OST-20形 オスミウムトラップ
このオプションは、標準機に搭載されたオスミウムトラップに連結し、オスミウムの気体分子のトラップをさらに強力なものにします。追加で2段、計3段まで装置に接続することが可能です。
内部には高密度活性炭フィルターを使用しております。オールステンレスの密閉型仕様のため、従来品と比べ、捕集効果に優れ、内部の気密性も向上いたしました。
OSD-20形 ドラフトフード
この装置は、有害物質を含む薬品を使用する装置に使用する事により、人体への影響を軽減するためのドラフトフードです。大型排出FAN、集塵用HEPAフィルター、活性炭フィルターを介して、ドラフト外に排出します。
電源には、系統別ブレーカーを装備し、ライト・FAN・内部コンセントの3系統で独立に遮断します。FANとライトは、前面パネルに操作スイッチを配置し、操作を容易にしております。
HPC-20を1式、まるごと納めることが可能です。
SPG-20形 厚膜制御プログラム
このプログラムは、100nm程度のオスミウム膜を成膜するための専用プログラムです。FIB保護膜等の厚い膜を成膜するためのプログラムです。
成膜回数、成膜時間、オスミウムガスチャージ時間の設定が可能で、フルオートでの処理が可能です。完全自動制御により、成膜中は時間を有効に活用できます。

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