フィラメント加熱式蒸着やボート蒸着では困難な、高融点金属や酸化物などの蒸着を可能とします！
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参考コンテンツ
電子ビーム蒸着（EBガン）の解説
ＥＢガンとは EBガン（Electron Beam Gun）とは電子ビーム蒸着電子銃の簡易名称です。E型電子銃とも呼ばれ高真空中で電子銃のタングステンフィラメントを加熱する事によ…
真空装置のICFサービスポートに組み込み可能なコンポーネントタイプの３kwEBガンです。
シングルタイプと３ポジションタイプをラインナップしております。
専用の制御電源EBP-300とセット販売となります。
目次
ラインナップ
EBG-301形 シングルタイプ電子銃
EBG-303形 ３ポジションタイプ電子銃
共通仕様
| 操作圧力 | 5×10^-4 Pa以下 |
| ルツボ容量 | 約1cc |
| 投入加速電圧 | DC-4KV |
| ビーム電流 | 0～750mA |
| 最大入力 | 3KW |
| 冷却水量 | 2L/m以上 |
| ベーキング温度 | 200℃ |
| 取付フランジ | ICF152（シングルタイプ）、ICF203（３ポジションタイプ） |
EBP-300形 制御用電源
| 供給電源 | 3相AC200V±10% |
| HV出力 | -4KV 750mA |
| フィラメント出力 | AC15V 25A |
| 寸法 | 480w×300h×520d mm |
| 重量 | 約35Kg |
オプション
蒸着したい材料に応じて推奨されるオプションです。詳細はお問い合わせください。
| ビームスイープ機構 | 静電方式（50Hz 1KV） |
| シャッター機構 | 手動或いはニューマチック方式 |
| 電子銃引き出し機構 | |
| ハースライナー | |
| 冷却水循環装置 |
※仕様は予告なしに変更される場合があります。
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