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装置の水冷設備について 真空デバイスの装置では、冷却水循環器が必要な装置とオプションがございます。装置との接続規格はφ６ｍｍ用接手となります。オプション品についても基本的には特例を除きφ６ｍｍでの接続としております。流量１リットル／ｍｉｎ以...

アルゴンガスの導入について 真空デバイスの装置では、雰囲気ガスとしてアルゴンガスの導入が必要なもの、推奨のものがございます。ガス導入設備においてはお客様準備品となっておりますので、以下をご参考にご準備いただけますと幸いです。 装置とガス設...