スパッタ装置– category –

酸化アルミニウム薄膜（Al₂O₃薄膜）は、化学的安定性、優れた絶縁性、高い耐久性を備えているため、さまざまな工業分野で需要が増大している材料の一つです。この薄膜は、特にエレクトロニクスやエネルギー分野、そして防食コーティングにおいて重要な役割...

マグネトロンスパッタの成膜について少し詳しく見ていきましょう。図では分かりやすくアルゴンガスを導入したイメージを表しています。 プラズマを作るためのガス 真空装置の中でプラズマを作るのに必要なガス原料は、主にアルゴンガスが利用されます。ア...

RFスパッタとは RFスパッタとはRF(Radio Frequency)と呼ばれる高周波帯の電源を用いたスパッタ方法です。DCスパッタでは行えない絶縁性ターゲットのスパッタ電源としてよく利用されます。色々なターゲットをスパッタ可能ですが、導入にはRFマッチングユニ...

スパッタとは スパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散るという擬音を表します。おしゃべりの際に唾が飛ぶ飛沫や、アーク溶接の際に飛び散る火花をイメージしていただくと分かりやすいでしょう。 スパ...