スパッタ装置– category –
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スパッタ装置
マグネトロンスパッタの成膜
マグネトロンスパッタの成膜について少し詳しく見ていきましょう。図では分かりやすくアルゴンガスを導入したイメージを表しています。 プラズマを作るためのガス 真空装置の中でプラズマを作るのに必要なガス原料は、主にアルゴンガスが利用されます。ア... -
スパッタ装置
RFスパッタについての解説
RFスパッタとは RFスパッタとはRF(Radio Frequency)と呼ばれる高周波帯の電源を用いたスパッタ方法です。DCスパッタでは行えない絶縁性ターゲットのスパッタ電源としてよく利用されます。色々なターゲットをスパッタ可能ですが、導入にはRFマッチングユニ... -
スパッタ装置
スパッタ装置、マグネトロンスパッタの原理
スパッタとは スパッタとは小さな微粒子が飛び散る様を表す単語です。語源とされている「splutter」は飛び散るという擬音を表します。おしゃべりの際に唾が飛ぶ飛沫や、アーク溶接の際に飛び散る火花をイメージしていただくと分かりやすいでしょう。 スパ...
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