蒸着装置– category –

蒸着膜厚について 高真空蒸着装置では、タングステンバスケットを使用して金属を蒸発させる方法がよく用いられます。しかし、蒸着量を正確に測ることは困難です。膜厚の測定には膜厚計がよく利用されますが、それでも正確な膜厚が測定できるわけではありま...

分子線セル（クヌーセンセル）とは 分子線セルとは、ルツボ内の原料をヒーターにて加熱することにより飽和蒸気圧の分子線を発生させ、基板に原子層を一層ずつ結晶成長可能な超高真空（10-8Pa程度以下）に対応の抵抗加熱型の蒸着源のことです。分子線セルの...

ＥＢガンとは EBガン（Electron Beam Gun）とは電子ビーム蒸着電子銃の簡易名称です。E型電子銃とも呼ばれ高真空中で電子銃のタングステンフィラメントを加熱する事によって発生する熱電子を、磁石による磁場の中で加速偏向し、水冷された銅製ルツボ内の蒸...

ＳＬＣ－３０は、Ｓｍｏｋｅｌｅｓｓ　Ｃａｒｂｏｎ（スモークレスカーボン）の文字ＳＬＣをとりまして名付けられました。その名の通り、焼き出しによる煙の出ない、油分やバインダー成分を含まない、替え芯型カーボンです。 シャープペンシル替え芯型のカ...