目次
装置概要
この装置は、ＳＥＭ試料及び任意のサンプルを高真空下で保管することを目的とし、保管中の試料を常に高真空下に保持しながら、試料の入出庫を随時行うことが可能な装置です。
保管棚が２段構造になっており、多くの試料を保管することが可能です。
試料の収納・取り出しの際は、交換室を介して行います。そのため、保管室内は常に高真空が保たれます。
格納パレット
大：内寸Ｗ９０ｘＤ２８ｘＨ１８．０ｍｍ
小：内寸Ｗ６０ｘＤ２８ｘＨ１８．０ｍｍ
１段に６本ずつ、計・大１２本、小１２本の格納が可能です。
この商品は受注制作品となります。
装置本体、ダイヤフラムポンプがセットになります。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。
SVS-100T 装置の仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ(単相１００Ｖ１０Ａ)１口 アース線付３芯プラグ使用 |
| 装置サイズ | 幅７２８ｍｍ、奥行き４３５ｍｍ、高さ４４０ｍｍ |
| 排気系 | ２０Ｌ／ｍｉｎダイヤフラムポンプ（外置き） ６７Ｌ／ｓｅｃターボ分子ポンプ（装置内蔵） |
| 到達真空度 | ５ｘ１０－４Ｐａ以下 |
| 真空度測定 | フルレンジ真空計 |
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