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真空蒸着装置 VE-2050

目次

装置概要

一歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。
ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。高真空は膜純度の向上、膜密度の向上に貢献します。
パネルの EVAC START のボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行います。タッチパネル＋プログラム制御で操作ミスを防止する安全設計です。
VE-2050 には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

商品は、装置本体にターボポンプとロータリーポンプが内蔵された、据え置き型真空蒸着装置です。
現地へお伺いしての設置・操作説明が必要となります。

カタログPDF

VE-2050　装置の仕様

項目仕様
電源 ＡＣ１００V（アース線付き単相１００V１５A）
装置サイズ 幅５３４ｍｍ、奥行き６７５ｍｍ、高さ１１３４．５ｍｍ
（装置重量８０ｋｇ）、２輪ストッパー付キャスター装備
真空排気系TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min)
到達真空度：5×10-4Pa 以下
真空度測定フルレンジ真空計
真空槽内径 200mm×高さ 248mm、ICF70 サービスポート１口標準搭載
試料ステージ直径 58mm 水平試料台(標準装着)
加熱用電極柱2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。
絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。 タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。
ヒータ電源最大電流 80A(標準ボート使用時)
蒸着可能面積柱利用、上からの蒸着時＝直径 90mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで
安全対策停電時/全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。
停電回復時/真空系統は停止状態を保持。初期の状態で復帰。
回路内過電流対策/15A 超でサーキットプロテクタ作動、入力断。PR 回路、真空排気系統、電極柱系電源回路別にサーキットプロテクタ採用。加熱電流用 80A のヒューズ。
チャンバー大気解放時、電極間は通電しません。

VE-2050　消耗品・部品リスト

消耗品のご購入・ご依頼の際は、最寄りの代理店または営業お問い合わせからお申し込みください。

専用カーボン
SLC-30
１ケース（１００本入り）

専用カーボン
SLC-30
お得な１０ケースセット

各種金属蒸着材料につきましては、直接材料メーカーから購入をお願いいたします。

VE-2050　標準付属品に関する情報

タングステンバスケット
φ1.0X100mm
販売元：株式会社ニラコ
品番：B-010
モリブデンボート
0.1×7.0x100mm
販売元：株式会社ニラコ
品番：SF107M

VE-2050　オプション

ＣＥ－０１形　クランプ電極銃
この部品は、Φ０．５ｍｍ専用カーボンを取り付けてカーボン蒸着を行うユニットです。
従来のカーボンロッド蒸着に比べて手間がかからず、非常に簡単に再現性良くカーボン成膜が可能です。
電極は２対の板バネを擁し、数ｎｍ～１００ｎｍ程度までの蒸着を可能とします。
主に元素分析（ＥＤＸ・ＥＰＭＡなど）、ＴＥＭ支持膜や試料の補強、ＦＩＢ加工用の保護膜作製に用いられます。
ＫＺ－２０形　カーボン蒸着銃
スプリングばねと比較すると寿命が長い板ばねによりカーボンロッドを押付け、止めネジで設定した長さのカーボンを蒸着します。円筒内で蒸発させることにより輻射熱の影響を軽減します。
φ５ｍｍ専用のカーボンロッドを使用します。
ＥＢ－２０形　電子ビーム蒸発源　ＥＢガン
加熱されたフィラメントから放出した熱電子を高電圧で加速します。加速された熱電子は永久磁場により偏向し、ルツボ内に乗せた蒸発物質へ照射されます。熱電子を照射された蒸発物質は発熱・蒸発して基盤等に薄膜を形成します。抵抗加熱方式に対し、高パワー・高密度・低不純物膜が得られます。
抵抗加熱方式でヒーターとなる高融点金属（タングステン・タンタル・モリブデンなど）と化合物を生成し易い物質やヒーターより高融点な物質の蒸着を可能にします。
※このオプションは水冷機構が必要です。
ＺＤ－２０形　ジンバル機構ＺＤ－２０形　ジンバル機構
試料台を回転・連続傾斜させることにより、試料全体に均一な回り込みの良い蒸着が可能です。試料台を傾斜した状態で回転のみを行なう事により、ローアングルシャドウイングが可能です。
ＨＥ－０２形　２源金属蒸着ユニット
２種類の金属を高真空下で蒸着することが可能です。電極切り替えで連続した異種金属蒸着が可能となります。
タングステンバスケットをユニット内に収めることにより輻射熱の影響も軽減します。
こちらはΦ0.5mmタングステンバスケット専用です。
ＨＥ－５２形　２源金属蒸着ユニット
HE-02形と同様に、２種類の金属を高真空下で蒸着することが可能です。電極切り替えで連続した異種金属蒸着が可能となります。
こちらはΦ１mmタングステンバスケットに対応したオプションです。
Ｋ－セル加熱・有機物蒸着源Ｋ－セル加熱・有機物蒸着源
Ｇａ・Ｓｅ・Ａｓ等の有機物をルツボ（ＰＢＮ・石英）を用いて、一定温度に保持しながら蒸発させることを可能にします。
膜厚計膜厚計
蒸着した膜の厚さを計測するユニットです。膜厚モニター（電源）・オシレーター・水晶振動子で構成されています。
※このオプションは水冷機構が必要です。
ＫＮ－２０形　試料加熱機構ＫＮ－２０形　試料加熱機構
最高到達温度４００度。試料焼きだし後の蒸着や、一定温度で過熱しながらの蒸着を可能にします。
ＳＭＲ－１形　試料冷却機構
試料を冷却しながら蒸着が行える冷却試料台です。冷却機構はサーモモジュールを用いております。
上部試料ホルダー
半導体等への落下物（異物）を低減するためにサンプルを下向きに固定、蒸着を行うホルダーです。
上部回転試料ホルダー
半導体等への落下物（異物）を低減するためにサンプルを下向きに固定、蒸着を行うホルダーです。
ホルダーの回転機構により膜ムラの軽減を可能にしております。
ＫＮ－２０形　試料加熱機構（上部取付形）
試料を加熱する際、異物の付着等を軽減するために上蓋部に半導体等を取り付ける機構です。試料焼きだし後の蒸着や、一定温度で過熱しながらの蒸着を可能にします。
（筒型ロングベルジャーへの改造が必要です）
ＴＥＭホルダー・クライオホルダー保管機構
サービスポートに専用のアタッチメントを増設し、ＴＥＭホルダー、クライオホルダーの真空保管が出来るユニットです。
マルチポートチャンバー
初期注文時のみ、多種・多様な測定器等を追加されるお客様にサービスポート×４を装備したチャンバーをご用意いたしました。
追加マルチポートチャンバー
現在標準チャンバー仕様の蒸着機をご使用のお客様に多種・多様な測定器等を追加可能な後付チャンバーをご用意いたしました。脱着可能。蒸着機を初期注文のお客様にもご利用いただけます。
筒型ロングベルジャー
サンプルへの輻射熱軽減を目的に、蒸着源からの距離を長くする為のベルジャーです。上蓋・上蓋用支柱・専用電極柱も含まれます。
安全性向上のために防爆金網もオプションでご用意いたしております。
耐熱性ＳＵＳベルジャー
蒸着装置を長時間連続で高温になるご使用方法をされるお客様向けのステンレス製防爆用耐熱ベルジャーです。
標準ガラスベルジャー用アクリルカバー
標準ガラスベルジャーの防爆用アクリル製カバーです。
ロングベルジャー用防爆金網ロングベルジャー用防爆金網
ロングベルジャー用の防爆用金網カバーです。
ロータリーポンプ排気ダクトポート
オイルミストによる設置環境の汚染を防止するための排気ダクトポートです。
オイルミストトラップは専用のトラップをご用意いたします。
電源ラック（本体取り付け）
ＶＥシリーズ本体に取り付けて電源などを収納する専用ラックです。
写真はＸＴＭ／２形膜厚モニターとアネルバ社製ペニング真空計を収納した例です。
電源ラック（単体）
ＶＥシリーズの機能拡張用専用ラックです。各種付属品電源を全て収納することが出来ます。ＪＩＳラックの規格以外の電源を収納する際は必要に応じて取付穴加工いたします。
地震対策用固定金具
装置本体にはキャスターのストッパー×４が装備されていますが、お客様の規格に合わなかった場合に本体側面又は前後にＭ１０×２本のボルトで床固定することが可能な金具です。本体取付穴加工含。

その他、多彩なご要望にお応えいたします。
詳細はお問い合わせください。

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