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装置の水冷設備について
真空デバイスの装置では、冷却水循環器が必要な装置とオプションがございます。
装置との接続規格はφ６ｍｍ用接手となります。オプション品についても基本的には特例を除きφ６ｍｍでの接続としております。流量１リットル／ｍｉｎ以上の流量が確保できる仕様でご準備をお願いいたします。
装置とガス設備の接続図例
水冷設備の準備について
配管用のチューブはナイロンチューブを推奨しております。装置とチラーはなるべく近くに配置してください。距離が遠い場合、水圧の不足により装置が正常に動作できなくなる場合がございますのでご注意ください。
冷却水については、既存のチラーを再利用される場合もあり、お客様側での準備も可能です。稀に、準備状況が悪く接続が出来なかった事例もございます。装置側は６ｍｍ用の継手となっておりますので、それ以外の接続径が準備されていると繋げられない場合がございますのでご注意ください。現地での配管が出来ずに後日改めて据付作業になってしまった場合、別途出張費用が生じます。何卒ご理解ご協力のほどお願いいたします。
冷却水循環装置に関しては、基本的に弊社準備としていただくことを推奨いたします。
冷却水循環装置に関するご注意
冷却水循環器は、必要な流量（１リットル／ｍｉｎ以上）を確保できる性能のものが必要です。
特注品などの場合、複数の機構に対して循環水の分配が必要な場合もございますので、その際は別途お打ち合わせが必要となります。
冷却水循環装置に使用する水について
チラー用の水は基本的に水道水で構いません。水道水は簡単に入手でき、塩素を含むため腐りにくいという特徴があります。半年を目途に、水の交換を行うことが推奨されております。設置環境、使用頻度に応じたメンテナンスを実施してください。
