ICFフランジ直線移動機構　ZLTシリーズ

真空中での正確な位置合わせに必須！

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ICFフランジ直線移動機構とは

ICFフランジにマウントされた真空中の部品(基板ホルダー、加熱機構、熱電対等)を溶接ベローズの伸縮を利用して、任意の位置まで直線的かつ正確に移動を可能にした機構です。

固定フランジと移動フランジ共にＩＣＦフランジ仕様となっているので、各種超高真空装置に使用可能です。

ICF70形　直線移動機構の仕様

1. 固定・移動フランジ‥‥‥ICF70・キリ穴
2. 有効内径　　‥‥‥φ36ｍｍ
3. 材質　　　　‥‥‥SUS304(溶接ベローズ：SUS316L)
4. 最高使用温度‥‥‥200℃
5. リーク量　　‥‥‥1.3ｘ10-11Ｐａ・㎥/sec以下
6. 側面に位置決めスケール板付き

型式	ZLT70-50	ZLT70-80	ZLT70-100
L1寸法	ストローク：５０	ストローク：８０	ストローク：１００
L2寸法	１５８	２００	２３２
L3寸法	２４５	２８５	３２０

※　有効内径がφ50ｍｍの製品もご用意可能です。
※　移動量の長い製品もご用意可能です。

ICF114形　直線移動機構の仕様

1. 固定フランジ‥‥‥ICF114・キリ穴
2. 移動フランジ‥‥‥ICF114・タップ穴
3. 有効内径　　‥‥‥φ60.2ｍｍ
4. 材質　　　　‥‥‥SUS304(溶接ベローズ：SUS316L)
5. 最高使用温度‥‥‥200℃
6. リーク量　　‥‥‥1.3ｘ10-11Ｐａ・㎥/sec以下
7. 側面に位置決めスケール板付き

型式	ZLT114-50	ZLT114-100	ZLT114-150
L1寸法	ストローク：５０	ストローク：１００	ストローク：１５０
L2寸法	２２５	３００	３８０
L3寸法	２６０	３３０	４１０

※　手動型とモーター駆動型があります。
※　移動量の長い製品もご用意可能です。

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