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マグネトロンスパッタ装置 MSP-mini

目次

装置概要

安価で簡易的なスパッタ装置をお探しでしょうか。
MSP-miniはボタンひとつでオートコーティング。コストパフォーマンスに優れた装置です。
消耗品であるターゲットは小型のサイズ(φ32mm)を採用し、ランニングコストも安く抑えることが可能です。

Auターゲットを標準で付属。低倍率観察用卓上SEMの導電前処理に実力を発揮します。
オプションターゲットのAg膜は光沢に優れ、透明材料表面の光学顕微鏡観察を容易にします。

商品は、装置本体、ロータリーポンプ、ターゲット金属1枚(標準でAu)、真空ホースがセットになっております。
簡易的な装置のため、据付取扱説明は含まれません。


MSP-mini 装置の仕様

項目仕様
電源 AC100V, 10A アース線付3芯プラグ使用
装置サイズ 幅180mm、奥行き270mm、高さ183mm
(装置重量4.2Kg)
ロータリーポンプ 排気速度5 ℓ/min(G-5DA)
(ポンプ重量5.5Kg)
ロータリーポンプ用オイル(SMR-100)使用量:180ml
試料室サイズ内径86mm、高さ60mm(硬質ガラス)
試料ステージサイズ Φ83mm
試料サイズ 有効径Φ30mm、高さ20mm以下
ターゲットΦ30mm マグネトロン電極
Au(標準)、オプション(Ag)

MSP-mini 消耗品・部品リスト

ご依頼の際は営業お問い合わせからお申し込みください。

MSP-mini用
Auターゲット
【t=0.1mm】

MSP-mini用
Agターゲット
【t=0.5mm】

ロータリーポンプ用オイル(500ml入)
【SMR-100】

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