目次
装置概要
安価で簡易的なスパッタ装置をお探しでしょうか。
MSP-miniはボタンひとつでオートコーティング。コストパフォーマンスに優れた装置です。
消耗品であるターゲットは小型のサイズ(φ32mm)を採用し、ランニングコストも安く抑えることが可能です。
Auターゲットを標準で付属。低倍率観察用卓上SEMの導電前処理に実力を発揮します。
オプションターゲットのAg膜は光沢に優れ、透明材料表面の光学顕微鏡観察を容易にします。
商品は、装置本体、ロータリーポンプ、ターゲット金属1枚(標準でAu)、真空ホースがセットになっております。
簡易的な装置のため、据付取扱説明は含まれません。
MSP-mini 装置の仕様
項目 | 仕様 |
---|---|
電源 | AC100V, 10A アース線付3芯プラグ使用 |
装置サイズ | 幅180mm、奥行き270mm、高さ183mm (装置重量4.2Kg) |
ロータリーポンプ | 排気速度5 ℓ/min(G-5DA) (ポンプ重量5.5Kg) ロータリーポンプ用オイル(SMR-100)使用量:180ml |
試料室サイズ | 内径86mm、高さ60mm(硬質ガラス) |
試料ステージサイズ | Φ83mm 試料サイズ 有効径Φ30mm、高さ20mm以下 |
ターゲット | Φ30mm マグネトロン電極 Au(標準)、オプション(Ag) |
MSP-mini 消耗品・部品リスト
ご依頼の際は営業お問い合わせからお申し込みください。
MSP-mini用
Auターゲット
【t=0.1mm】
MSP-mini用
Agターゲット
【t=0.5mm】
ロータリーポンプ用オイル(500ml入)
【SMR-100】
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