logo.png

(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

特別注文製作例

  • お客様の実験用途を満たすための仕様に合わせた装置を設計製造いたします。
  • 設計、加工、組み上げ、実験、調整といった工程を全て自社で行います
  • 標準的な製品に改造を施し、お客様のオリジナル装置に仕上げることも可能です。
  • ぜひお見積りください。
  • 雰囲気遮断機構

搬送機構.png
HPC-1SW実装例

雰囲気遮断機構 標準ラインナップ特別製作例

リチウムイオン電池などの材料に使われているリチウム金属は大気に晒されると表面形状が変化してしまいます。このような、空気との活性が高い材料の場合、コーティング後大気に晒さないようにする必要性が出てきます。弊社では、お客様のお持ちになられている雰囲気遮断アプリケーションに合わせ、装置の特別改造を行います。

雰囲気遮断試料台、トランスファーベッセルへ対応可能。

MSP20-UM実装例20um01.jpg

  • 試料保管・プラズマクリーニング装置

snt1693.jpg

多目的試料保管・プラズマクリーニング装置 VE2030特別仕様改造装置

電子顕微鏡観察試料にかかわる多目的装置で、3つの機能を持ち合わせています。
主排気系にタ-ボ分子ポンプ(TMP)を使用して得られる清浄高真空を利用し、
①RF励起プラズマ照射及び加熱により、試料・ホルダーのクリーニングを行う。
②高真空雰囲気で金属やカ-ボンの真空蒸着、TEMやSEMの絞り類の加熱クリ-ニングを行う。
③電子顕微鏡試料ホルダー及びFIB装置試料ホルダーの真空保管。

排気系シーケンサー制御・ターボポンプ・ダイヤフラムポンプ・フルレンジ真空計を搭載した特別仕様装置です。
SNT169302.jpg

  • SEM試料保管装置

snt01.jpg

snt02.jpg

SEM試料保管装置

試料及びSEM試料ホルダーを真空下で保管することを目的とし、多くの試料を保管することができます。
試料交換の際は専用の交換室により、保管中の試料を大気に晒すことなく試料の入出庫が可能です。
snt03.jpg