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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

機能複合型装置 マルチコーター

MSP-1S.jpg   PIB-10.jpg   VC-100S.jpg  

3つの装置が一つになりました。

スパッタ装置、親水処理装置、カーボンコーターがひとつになった複合装置です。
単品で揃えるよりも安く購入することができ、自動制御系による操作性は、多用途にお使いになられるお客様の試料作成の手助けとなります。

VES-10.jpg   VES-10
この装置は、2 つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネト
ロンスパッタ成膜、親水処理機能を有する装置です。
★ 床置きロータリーポンプ(1mホース付)による排気で、オートリーク機能搭載。
★ 1 台で当社製VC-100S・MSP-1S・PIB-10 3 機種の機能を有します。
★ 小形省スペース・多機能・簡易操作を製品コンセプトに、初心者でも安心です。
★ カーボン蒸着はシャープペンシルの替え芯を使用。固定電圧を3 段切替。
★ マグネトロンスパッタ成膜、親水処理はフルオート処理。操作はタイマー調整のみ

VES-10 カタログ