logo.png

(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

VE-2030.jpg

VE-2030

真空蒸着装置

1歩進んだ試料作りは清浄高真空から始まります。VE-2030はターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。
TMPはロータリポンプ(RP)から逆流するオイルミストをシャットアウトして清浄な真空を作ります。
清浄高真空を手軽に!! VE-2030はEVAC STARTのボタンを押せば予備排気から高真空排気まで自動的に行ないます。
VE-2030には多彩な付属装置(オプション)が用意してあります。またご研究の目的に対応した機能の追加改造もお受けします。

VE-2030の特長

真空排気系は50L/sec TMP+50L/min RPと全電磁バルブよりなる全自動排気系です。液体窒素トラップ無しで10-5Paの超高真空領域に入ります。
TMP排気系は始動,停止時の待機時間が不用です。試料をセットしスイッチONで高真空排気に入り、作業終了後はスイッチOFFで停止作業終了。
TEMやSEMの絞り類のベーキングも短時間で完了し、時間の節約になります。
メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。
カーボンコーティングも薄くて緻密な蒸着膜になります。カーボン補強や支持膜作成に効果を発揮します。
安全対策は万全です。停電時は全バルブが閉じ真空が保持されます。ロータリポンプには自動的にエアリークされます。停電が回復したらEVAC STARTのみで停電前の状態に復帰します。
入力スイッチはサーキットプロテクタです。装置内の電気回路に異常が発生すると自動的にOFFになります。
冷却水を使用しないので漏水の心配がありません。
VE-2030には多彩なオプションが用意されています。例えば

•カーボン蒸着用カートリッジ:直径5mmまたは3mmのカーボンロッド用です。ヴェルジャー内の汚れを防止しながらカーボン蒸着ができます。
•モーター駆動ジンバル試料台:SEM試料のメタルコーティングに使用します。
•電子銃加熱蒸着装置:金や銀、アルミニウムなどの、比較的厚い蒸着膜作成に利用します。
•サーモモジュール冷却試料台:5°Cまで冷却、50°Cまで加温できます。SEM試料のt-ブチルアルコール凍結乾燥などに利用できます。
•加熱試料台:500°Cまで加熱できます。エピタキシー蒸着実験などに利用します。
•膜厚モニター:水晶発振式膜厚測定装置が装着できます。
•真空計:ピラニーゲージ、イオンゲージはオプションで装着できます。