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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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VC-100S/VC-100W

カーボンコーター

真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。
カーボンは入手の容易なシャープペンシルのスペア芯です。
削る必要が無く、一回一本の飛ばし切り、操作簡単、再現性抜群。
XMA前処理・FIB保護膜(Wタイプ)・カーボン補強・支持膜作成・シャドウイング・レプリカも可能です。


用途
TEM、SEM、XMA用のカーボン蒸着装置です。切片や支持膜の補強、カーボン支持膜の作成、X線分析の際の導電蒸着などに使用します。応用動作としてTEM試料のPtシャドウイングやレプリカ作成、SEM試料のPtコーティングにも利用可能。

方法
カーボンはシャープペンシルのスペア芯を使用します。電極に芯をセットして成形型材(バインダー)を焼き出した後、真空排気を行い、芯が焼き切れるまで通電してカーボンを蒸発させます。Pt蒸着は芯にPt線を巻き付けて蒸発させます。

操作法
セレクトスイッチを切換え、HEATボタンを押すだけです。

特長
VC-100型はロータリーポンプ排気、ピラニゲージで真空度を監視しながら行うので確実なカーボン蒸着ができます。カーボンは市販のスペア芯で入手が容易、削る必要がなく周囲はいつも清潔です。芯の中心にPt線を巻き付けるとシャドウイングができます。これを応用すればレプリカも可能です。ロータリーポンプを内蔵した一体型で省スペース、低価格を実現。