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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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PIB-20

プラズマイオンボンバーダ

好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。
TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、PDMSの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。
フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでOK!
RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で!

特長
大型フラット試料台を採用して、大きな試料もそのまま処理が可能です。
ガス導入&調整機能を搭載して、お好きな雰囲気ガスを接続できます。
ハイドロカーボンの付着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。
調整操作もラクラク!黄色SWを右から順に押していくだけです。
繰り返し処理を行う時は緑SWを押すだけで全自動処理します。
試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。

操作方法
はじめにLEAKスイッチを押してチャンバーを大気圧にします。
希望の処理時間にタイマーをセットします。
試料をセットしてスタートボタンを押すと予備排気から雰囲気ガス導入、高圧放電まで自動的に進行し、終わると自動的にストップしエアリークされます。