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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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PCU-30 SEM用プラズマクリーナー

多目的簡易操作型SEM用RFプラズマクリーナー

SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。
当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。
低エネルギープラズマで試料損傷を回避。
クリーン排気(TMP+SQP)・簡易操作で能率的
観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。
SEMホルダー・絞りのアンチコンタミが可能なハイコストパフォーマンスモデル。

特長

走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
低出力RF13.56MHz励起プラズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
チャンバー排気はTMP、スクロールポンプによるオイルフリーシステムです。
卓上型、小型省スペース・簡易操作を製品化設計に取り込み、ユーザの使い易い、省エネ装置となっています。
空気、アルゴン、アルゴン酸素、他広範囲の処理ガスに対応しています。
RF電源パワーは、最大50W以下で高周波電源の届出の必要はありません。