logo.png

(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

MSP-mini.jpg

MSP-mini

小型マグネトロンスパッタ装置

試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。
操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。
全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現。
光学顕微鏡の透明材料表面を観察する際に簡単に光沢膜コート。
標準のAuターゲットで、簡単に小型SEM用の導電膜コート。

用途
光学顕微鏡試料(透明材料)又は、SEM試料のためのメタルコーティング装置です。

原理
マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングします。

特長
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。

操作法
試料をセットします。コーティング厚さに応じてタイマーをセットします。スタートボタンを押すと予備排気からコーティングまで自動的に進行します。コーティングが終わるとRPが止まり、自動的にエアリークされます。