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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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MSP-20-UM

マグネトロンスパッタ装置

•電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。
•マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。
•様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
•条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。
•条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。
•傾斜機構付き回転試料ステージをオプションで選択可能。回り込み性能良好。
•雰囲気ガス導入付きで、2系統の排気システムを切換えて最適条件に。
•アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。
•インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。

MSP-20-UMの特徴

この装置は電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。
アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍。
マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。
押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。
調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロール スイッチを押すだけ。
排気速度と放電条件のバランスを重視して、2系統の排気管を自動制御。
試料台は傾斜機能付き回転試料台をオプションで追加することが可能です。回り込み性が向上します。
イオンダメージ、熱ダメージに弱いサンプルにコーティングするため、ターゲットにマグネトロン方式を採用。
ターゲット金属板(Pt)を標準で付属。ご希望のターゲットに変更可能です。
(但し、購入価格は一律となっております。ご了承下さい。)