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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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MSP-1S型

マグネトロンスパッタ装置

試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。
操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。
小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。

用途
SEM試料のためのメタルコーティング装置です。

原理
マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングします。

特長
低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。

操作法
試料をセットします。コーティング厚さに応じてタイマーをセットします。スタートボタンを押すと予備排気からコーティングまで自動的に進行します。コーティングが終わるとRPが止まり、自動的にエアリークされます。