ＭＳＰ－１２ｉｎ
１２インチウェハに対応する大面積試料ステージを搭載。コーティング電圧 500V 以下でイオンダメージを軽減するマグネトロン方式を採用。
オートコーティング機能で脱ガスから雰囲気ガス導入・コーティングまで全自動。
試料の出し入れが簡単な前方スライド式試料ステージを搭載。Ag ターゲットを装着すれば、透明フィルムなどの光沢処理も簡単に可能。
コーティング領域の違いにより、１２ｉｎタイプと１２Ｓタイプをご用意！
ＭＳＰ－１２ｉｎ
ターゲットの大きさが直径１２インチ（直径３００ｍｍ）あり、１２インチウェハー全域をムラなくコーティングします。大面積へのコーティング、大量のサンプルコーティングに活躍致します。
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ＭＳＰ－１２Ｓ
ターゲット電極の大きさは直径５０ｍｍ。可動式ターゲットにより、１２インチウェハーのような大面積サンプルの一部分をコーティングしたい場合に活躍致します。電極を小型化することによりランニングコストを抑えられます。また、大きなウェハーを割る必要もありません。
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主な製品仕様
| 項目 | 仕様 |
| 電源 | 単相ＡＣ１００Ｖ１５Ａアース線付き３芯プラグ |
| 装置サイズ | 幅４５０ｍｍ、奥行き４４０ｍｍ、高さ４２７ｍｍ （装置重量３０ｋｇ） |
| ロータリーポンプ | Ｇ－１０１Ｄ 幅２３４ｍｍ、奥行き５００ｍｍ、高さ２６４ｍｍ 重量２５Ｋｇ |
| コーティング室サイズ | 内径３３０ｍｍ、高さ８０ｍｍ |
| ターゲット電極サイズ | 直径３００ｍｍ |
| 試料ステージ | 直径３００ｍｍ |
