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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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HPC-20型 オスミウムコーター

ホローカソードプラズマCVD

SEMで観察する試料のチャージアップを容易に防止可能です。
操作性・安全性・再現性・耐久性を徹底的に追及したモデルです。
操作はタッチパネルで行い、プログラム制御により操作ミスが起こりません。
マニュアル操作時はタッチパネルに操作ガイダンスを表示します。
複雑な形状の生物や無機化合物などの試料を観察可能にします。
どのような試料にも極めて薄いコーティングで導電性を与えることができます。
披着したオスミウム粒子は金や白金のように結晶化による粒子成長がなく、超高倍率観察(×800k)にも十分満足な画質が得られます。
真空チャンバー内部で四酸化オスミウムのアンプルを割断可能な機構を標準付属。全てのパーツに四酸化オスミウムで劣化し難い素材を採用して、取外しが不要です。
専用の真空ポンプとカートリッジ式排出オスミウムトラップを付属します。
ピラニ真空計は簡易校正機能付き。交換用センサー1本付属。センサー交換をお客様が簡単に行う事が出来ます。
あらゆる機能が充実(空気置換リーク、OsO4温度・圧力自動調整、各種使用時間表示 etc.)


特徴

  • ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法(特許)を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。
  • ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。
  • プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。(1g使用時100回程度)
  • コーティング操作はフルオートです。SEMのスタブに取り付けた試料をホローカソード内に置き、スタートスイッチを押すだけです。
  • 危険な未反応オスミウムガスは排出オスミウムトラップ(活性炭)で取り除き大気汚染は在りません。活性炭の交換時期は、操作パネルで確認可能です。
  • 膜厚コントロールは時間・温度・電流により微調整を可能にしています。