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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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HPC-1SW オスミウムコーター

ホローカソードプラズマCVD

SEMで観察する試料のチャージ防止にはオスミウムコーティング!!
簡易操作を目標にしたオスミウムコーティング専用機です。
複雑な形状の生物や無機化合物などの試料でも360°一様にコーティング可能。
どのような試料にも極めて薄いコーティングで導電性を与えることができます。
披着したオスミウム粒子は金や白金のように結晶化による粒子成長がなく、超高倍率観察(×800k)にも十分満足な画質が得られます。
φ100サイズの試料までコーティング可能な大型ステージ搭載。
真空チャンバー内部で四酸化オスミウムのアンプルを割断可能な機構(Option)を追加可能。四酸化オスミウムを大気に晒す不安が解消されます。
HPC専用の真空ポンプと排出オスミウムトラップ付属。

特長
ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法(特許出願中)を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。
ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さには制限がありません。
プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。(1g使用時200回程度)
コーティング操作はオートとマニュアルを選択可能。オート使用時はSEMのスタブに取り付けた試料をホローカソード内に置き、EVACスイッチをONにするだけです。
危険な未反応オスミウムガスは排出オスミウムトラップ(活性炭)で取り除き大気汚染は在りません。活性炭の吸着限界は排出口で常時モニタしています。