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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

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FEH-02型

TEMホルダー保管装置

本装置はTEMホルダーをオイルフリー真空下で保管する装置です。
本装置を使用することにより、コンタミネーションの付着を大幅に減らすことが可能です。
独立した真空室に保管するため、個別に出し入れが可能です。
TEMホルダーポートはお客様のお使いのTEMホルダーに合わせて製造いたします。

特徴
TEMホルダーについて

  • TEMホルダーポートを4本搭載。
  • お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。
  • TEMメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。
  • 独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。
  • 各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き(NW40フランジ)

操作性タッチパネルサンプル.bmp

  • タッチパネル搭載で操作も簡単。
  • プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。
  • ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。


仕様

  • 入力電源 : AC100V(単相100V)10A , アース線付3芯プラグ使用
  • 重量    : 30Kg
  • 外観寸法 : W555mm X D542mm~ X H380mm
    • (D寸法はTEMホルダーにより異なります)
  • 到達真空度: 5x10-4Pa以下
  • 真空度測定: フルレンジ真空計
  • ターボ分子ポンプ : 80㍑/sec
  • ダイヤフラムポンプ: 20㍑/sec
  • 保管庫へのリーク用ガス導入ポート付き(φ1/4インチswagelok)
    • (N2パージ使用時最大圧力:0.03MPa)
  • 特別注文・改造につきましては、都度ご相談下さい。