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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

プラズマ処理装置

液体中に含まれる微小試料を観察する上で、親水処理を行うことにより水滴がなじんで広がり、サンプルが綺麗に分離されて電顕観察がし易くなる。当社ではイオン・ボンバード法を応用した親水処理装置を製作しています。ボタンひとつで簡単に処理が行えるPIB-10。細かい処理時間や雰囲気ガスを調整可能でソフトエッチングやPDMSの貼付が可能なPIB-20。
SEM観察で付着したコンタミ除去が可能なPCU-30などをラインナップしております。

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PIB-10
資料室サイズ:120mmφx65
簡易操作型、SOFT/HARD切換え
親水処理、透過電子顕微鏡(TEM)のグリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。
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PIB-20
資料室サイズ:150mmφx80
多機能型、大型フラット試料台搭載gasjoint.png
TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、PDMSの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。

応用例
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PCU-30
雰囲気ガス:空気・アルゴン・アルゴン酸素他
電源方式:低出力RF13.56MHz
卓上型小スペースで操作は簡単。お持ちのTEMホルダーに対応した形でお作りいたします。
RF電源パワーは、最大50W以下で高周波電源の届出の必要はありません。