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(株)真空デバイス
真空装置・電子顕微鏡周辺機器の設計・製造、
要望に応える改造を低価格・短納期で行います。

  • 省スペース低価格高性能でお客様を支える装置を多種ラインナップ
  • 特殊真空部品や装置の設計・製作・加工を低価格短納期で行ないます。
  • お手持ちの真空装置をお客様の仕様に改造も行ないます。
  • また、装置の購入が不可能なお客様の為に受託成膜業務も行ないます。

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TEMホルダ保管装置

FTH.jpgFEH-02

4本の独立した排気操作が可能なオイルフリー保管装置です。コンタミネーションの付着を大幅に低減します。


FEH-02 カタログ pdf.png

MSP-mini.jpgMSP-mini

超低価格・超小型
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。


MSP-mini カタログ pdf.png

MSP-1S.jpgMSP-1S

低価格・低ダメージ型
低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。


MSP-1S カタログ pdf.png

MSP-30T.jpgMSP-30T

特殊金属全般のコーティングが可能!
多目的、多金属、実験用イオンスパッタ成膜装置です。


MSP-30T カタログ pdf.png

msp20ums.jpgMSP-20-UM

全自動機能付き貴金属コーター!!
スパッタ条件を細かく設定可能です。


MSP-20-UM カタログ pdf.png

MSP20-MT.jpgMSP-20-MT

4インチターゲット全自動機能付き貴金属コーター!!
大きな試料、多数の試料を処理可能です。


MSP-20-MT カタログ pdf.png

MSP20-TK.jpgMSP-20-TK

FE-SEM向けタングステンコーター
MO/Cr/Ni/Cuなどの金属をコーティングすることが可能です。


MSP-20-TK カタログ pdf.png

大面積対応コーター

MSP-8S.jpgMSP-8in
8インチ試料台・ターゲット搭載!!
マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。


MSP-8S カタログ pdf.png

MSP-12S.jpgMSP-12in

12インチ試料台搭載。
マグネトロンターゲット電極で、φ300mmサイズとφ50mmサイズが選択可能。


MSP-12S カタログ pdf.png

オスミウムコーター

hpc20s.pngHPC-20

高機能・低価格
タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あらゆる性能をパワーUPしました!


HPC-20 カタログ pdf.png

HPC-1SW.jpgHPC-1SW

超低価格・超小型
シンプルなのに非常に光沢のある金属膜がワンタッチでコーティングできます。


HPC-1SW カタログ pdf.png

親水処理装置

PIB-10.jpgPIB-10

簡易型
グリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。


PIB-10 カタログ pdf.png

PIB-20.jpgPIB-20

高性能万能型
親水化処理、クリーニング、有機材料のエッチング、PDMSの貼付などに対応可能な高性能装置です。


PIB-20 カタログ pdf.png

凍結乾燥装置

vfds.pngVFD-30

全自動型凍結乾燥装置
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。AUTOスイッチを押すだけで全自動で処理を行います。


VFD-30 カタログ pdf.png

VFD21S.jpgVFD-21S

t ブチル凍結乾燥型
生物試料など水分を多く含む試料を収縮変形させず乾燥します。臨界点乾燥に代わる画期的乾燥法です。


VFD-21S カタログ pdf.png

カーボンコーター

  真空蒸着装置

 

VC-100S.jpgVC-100S/VC-100W
シャーペン芯専用型。真空蒸着装置に代わる電子顕微鏡のためのカーボンコーターです。シャープペンシルのスペア芯を使用します。


VC-100 カタログ pdf.png

VE-2030.jpgVE-2030
多種オプション対応型
ターボモレキュラーポンプ(TMP)排気系を採用した清浄高真空蒸着装置です。


オプション品についてはこちら
VE-2030 カタログ pdf.png

VE-2012.jpgVE-2012

卓上型TMP蒸着装置
VE-2030(弊社製)のコンセプトを継承した簡易型卓上タイプの真空蒸着装置です。


VE-2012 カタログ pdf.png

マルチコーター

  プラズマクリーナー

 

VES-10.jpgVES-10

機能複合型
親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置。


VES-10 カタログ pdf.png

PCU-30.jpgPCU-30
卓上小型
走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。


PCU-30 カタログ pdf.png

急速凍結装置

VFZ-101.jpgVFZ-101

凍結切片、凍結置換固定、フリーズエッチングレプリカ、凍結乾燥、凍結割断に。


VFZ-101_0 カタログ pdf.png

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